VOC废气处理选用微波驱动，微波能激活紫外灯发射紫外光照射光触媒(比如TiO2等） 催化床，催化基内形成电子空穴，俘获O2氧气分子及H2O水分子的电子，活化为强氧化性基团羟基自由基·OH、负氧离子O2-及臭氧O3，利用此类强氧化性基团的瞬间强氧化性将气流中及被催化床吸附的有机污染物氧化分解为水H2O、二氧化碳CO2。少量残余的臭氧及VOC再通过末端的同步解析装置中的材料吸附并在微波能的催化作用下，进一步强化氧化反应通透度，最后分解为水H2O、二氧化碳CO2等。从而实现持续高效净化VOC 的目标。